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    日本大冢電子Smart膜厚儀的技術(shù)特點(diǎn)

    發(fā)布時(shí)間: 2025-07-14  點(diǎn)擊次數(shù): 5次
      日本大冢電子(Otsuka)的Smart膜厚儀是一款手持式、高精度的測量設(shè)備,專為現(xiàn)場使用而設(shè)計(jì)。該設(shè)備能夠測量0.1μm單位的膜厚,并且具有非破壞性的測量能力,適用于具有形狀的樣品。此外,Smart膜厚儀不受基材材質(zhì)的限制,可以測量其鍍膜。
     
      Smart膜厚儀的測量原理基于反射分光法(光干涉法),這是一種非破壞性測量方法。該設(shè)備的膜厚測量范圍為1μm至50μm,顯示上限為60μm,重復(fù)精度達(dá)到2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)。測量時(shí)間極短,僅需1秒內(nèi),且測量層數(shù)為1層。數(shù)據(jù)輸出可以通過附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案,測量點(diǎn)大小為Φ1mm以下,重量約為1.1kg。
     
      該設(shè)備還提供了筆型探頭選配,能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品,探頭Φ6mm。此外,還有非接觸式載臺選配,對于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測量。這些特點(diǎn)使得Smart膜厚儀在產(chǎn)品開發(fā)、產(chǎn)線設(shè)定、質(zhì)量管理以及售后服務(wù)等多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用場景。
     
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